硅表面可控自组装制造技术及仿真,史立秋,PDF电子书网盘下载

内容简介

本书阐述了利用机械-化学加工手段在单晶硅表面构建形状、位置及功能可控的自组装微纳结构技术。
通过深入探讨硅表面可控自组装微纳结构的形成机制，建立了相应的可控自组装微加工系统。
为了优化机械刻划表面效果，采用有限元仿真与分子动力学仿真技术对金刚石刀具切削单晶硅表面的过程进行了模拟分析。
基于仿真结果，研究了刀具几何参数和切削参数对切削过程的影响，确定了最优刀具几何参数和最佳切削参数。
此外，借助所建立的微加工系统，在单晶硅表面成功制备出自组装微纳结构，并对其微观摩擦性能和黏附性能进行了检测，为硅表面功能性微纳结构在MEMS/NEMS中的应用提供了理论依据。

本书提供的方法能够克服传统研究中依赖大量实验确定最优工艺参数的问题，有效降低实验成本，缩短研发周期，提升加工效率。
该书适用于超精密加工技术、微纳制造技术领域的科研人员、工程技术人员以及高校教师、研究生和本科生参考。